尾氣中含有有毒、腐蝕性氣體，需要經過處理達標，減少有害氣體的排放。

分類：

燃燒式：氣體可分為可燃氣體（SiH4,PH3,B2H6,等等）

濕式：氣體可分為可溶性氣體（Cl2,BCl3,等等）

燃燒/熱和濕式：氣體可分為可燃氣體（SiH4,PH3,B2H6,等等）和可溶性氣體（Cl2,BCl3，等等）

干式：氣體可分為幾乎所有的反應氣體。

等離子和濕/干式：

對于PFC氣體應有特殊設計：包括CF4,SF6,C2F6,等等。

其他類型：熱與采集器式。